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關(guān)于PECVD石墨舟工序標準物質(zhì)的使用?

　　關(guān)于標準物質(zhì)，大家都知道在計量時是做標準件使用的，石墨舟本文中講到的標準物質(zhì)將這一標準物質(zhì)進行了詳細化。

　　例如在PECVD工序主要操作是使用機器手進行工作，因此所提及的標準物質(zhì)為標準機械手、標準石墨舟及標準上料小車三部分。

　　眾所周知，機械手會有相應的準確度，在使用一段時間后，會由于使用的原因會造成一定的偏差，因此會造成在上料過程中夾石墨舟會傾斜，造成摔片現(xiàn)象。因此需要對機械手進行定期的校正，但是由于技術(shù)方面的問題，我們不能總是去調(diào)整機械手，所以我們將問題轉(zhuǎn)向方便調(diào)整的石墨舟及上料小車上。

　　石墨舟在使用的過程中，不會造成什么大的問題，主要是其載體的問題，那就是上料小車。

　　上料小車在使用一段時間后會與機械手形成匹配不良，導致在上料的過程中出現(xiàn)各種問題，導致整體的上料質(zhì)量指標波動。

　　首先，上料小車在使用時會由于使用的原因會造成小車的不平穩(wěn)，導致小車上石墨舟的位置偏移；再次，由于操作小車的人員不同，因此也會對機械手有不同的影響。

　　由于是一臺機械手對應多臺上料小車，因此我們采取對小車進行規(guī)范的方法。

　　一、我們制定標準小車（注：此小車并不是理想狀態(tài)下各方面參數(shù)均為最規(guī)范的小車，而是任一小車，主要是調(diào)整機械手與其對應關(guān)系）。并將石磨舟放置在小車上的位置及方向進行定位，我們將其定義為標準，并以此來調(diào)整機械手，保證機械手在此小車和石墨舟的位置為最佳上料位置。

　　二、將小車的高度及地面的存放位置進行規(guī)定，采用8S標準定位方法，避免由于小車的高度位置等低級問題導致的上料時的摔片現(xiàn)象。

　　三、以此小車為標準，調(diào)整其他對應該機械手的小車，保證其標準小車的標準作用的發(fā)揮。

　　四、對機械手進行定期調(diào)試，保證機械手與小車的匹配性。

　　五、對所有小車進行定期保養(yǎng)維護，保證小車的標準一致性。

　　通過上述我們措施的實施，有效的減少了上料過程中的摔片現(xiàn)象及對石磨舟的影響。

　　通過此案例，我們還在其他工序?qū)藴饰镔|(zhì)進行了制定，如在PE工序?qū)Σ煌伾钠舆M行分類，在印刷前就對問題片進行分類，可以降低生產(chǎn)成本，及在印刷過程中造成的資料浪費。并在印刷工序增加標準色板的電池片，保證分色時能實現(xiàn)目視化，減少了色差問題出現(xiàn)在概率。